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应用背景
传统的平行光曝光机采用高压汞灯作为光源，其寿命只有1000小时，耗电高，且有污染。而采用UV-LED替换汞灯光源，其寿命可达汞灯的3万小时，耗电量可减少80%，大幅降低企业生产成本，环保无污染。
传统汞灯的紫外光刻光路图
突破挑战
我们在多自由曲面精确配光方面做了突破，开发出大功率紫外LED平行光源，平行半角＜3°，曝光面均匀度≥95%，工作距离达300mm，照射面积大于200mm×200mm，照明强度高达60mW/cm2。
光场分布曲线和光斑图
测试方案
采用9点测量，每个点的测量位置见测试纸的打孔位置。测试纸为测试点定位用纸，如下图所示。长度L，宽度W。红点为测试点，在离导气槽长度l1 为15mm ，宽度w1 为15mm 区域内均匀排布。
测试结果
在工作距离300mm处， 我们的平行光曝光系统光斑面积达200mmx200mm,均匀度＞95% ，平行出光角＜ 3°，曝光面辐照度60mW/cm2。
测试结论
经验证，采用我们的大功率紫外LED平行光，可以在软/硬/真空接触以及近距离曝光应用中可以产生很好的结果；在4英寸、6英寸和8英寸的基板上可以保证光源的均匀性和准直性能（<2°）而且其分辨率可达0.7µm。我们的UV-LED解决方案使用寿命长、输出稳定性高、无需预热或冷却，具备低成本、高性能的优点。
