Sweep Source
OCT高速扫频源
Caliper-FLEX 和 Caliper-HERO 基于微机电系统 (MEMS) 垂直腔面发射激光器 (VCSEL) 技术,可进行波长扫描。其中配置了半导体光放大器 (SOA),可将输出功率从 1mW 放大到15-50 mW。
Caliper 产品系列专为集成到 OCT 系统而设计,包含驱动电子设备、温度控制和接口电子设备,以及用于与光束扫描同步的 A-Scan 触发器。
可集成方案
OCT 飞秒激光钻孔深度在线监测方案
通过扫频 OCT 方案,采用相干测量的方法,1.7MHz 扫频光源,参考臂的光由参考镜反射而返回后续光路,样品臂的光则要经过样品表层的散射与反射作用后返回光路。
两束返回光的光程差保持在一个合适的范围内,即处于相干长度之内,就可以在耦合器内发生干涉现象。通过对测量光谱进行快速傅里叶变换获得样本的深度信息。
OCT 光路与激光加工光路同轴集成,实现加工过程孔深度在线监控。