市场第一个
二维材料无损检测系统
实现全区域无损表征：
石墨烯
薄膜
2D材料
- Onyx 弥合了宏观与纳米级工具的鸿沟，实现表征面积从 0.5 mm² 扩展到大面积 (m²) ，推动了研究材料的产业化。
- 与其他大面积测量方法（如四探针法）相比，Onyx 能够测量样品质量的空间分布。 与拉曼、SEM 和 TEM 等显微方法相比，其数百微米的空间分辨率能够快速表征大面积样品。
- 虹科合作伙伴das-Nano在太赫兹技术、人工智能、纳米技术等不同技术领域拥有19项专利。 在这些专利中，有 12 项明确保护在太赫兹技术领域进行的创新。
- Onyx 系统符合国际电工委员会 (IEC) 发布的 IEC TS 62607-6-10:2021 技术规范。 IEC TS 62607-6-10:2021 涉及使用太赫兹时域光谱法测量基于石墨烯的材料的薄层电阻。
日新月异
Onyx 的功能不断改进，提供新的测量分析，潜力因而不断增加。 现在，它的 4.0 版本在其之前的功能中加入了两个新的表征模型：半导体薄膜模型和两层基板模型。 这些新功能扩展了系统的多功能性，使其成为研究更广泛材料的理想平台。
只需一次测量，该系统就能够精确地提供以下物理特性：
- 电导率
- 电阻率
- 电荷载流子迁移率
- 电荷载流子密度
- 折射率
- 介电参数，ε’ 和 ε”
- 吸收功率
- 单频特性
- 厚度
项目视角：GRACE
为未来的石墨烯电子产品开发电气表征
虹科伙伴das-Nano 参与GRACE EUROPEAN 项目（EMPIR-EURAMET 计划）合作，为未来的石墨烯电子产品开发电气表征方法，例如 Onyx 系统应用的太赫兹技术。
该项目发布了关于使用非接触和高通量方法对石墨烯进行电气表征的良好实践指南。
系统特色总览
- 均匀性和均质性检查
- 测定电导和电阻
- 测定电迁移率和载流子密度
- 整体样品质量控制
- 与弗劳恩霍夫研究所(Fraunhofer Institute)共同开发的 T-Wave 发射器/接收器
- 样品尺寸：从 1x1mm 到200x200mm (8”)
- 可定制的检测区域（可达m²）
- 无损检测分析
- 超快测速：12 cm²/min
- HD高清光学相机
- 单侧检测
- 无需样品制备
- 三轴自动定位系统
- 全铝制外身，坚固稳定
已测试材料
石墨烯
单层、双层、多层；油墨；掺杂或在SiC、粉末和薄片上外延的石墨烯； 氧化石墨烯
碳纳米管
旋涂光树脂
IZO
ALD-ZnO
PEDOT
PEDOT
MoS
NbC
GaN
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参数配置
主系统单元
重量
46KG
尺寸
610 x 581 x 332mm
THz收发测量端头
重量
2KG
尺寸
260 x 176 x 67 mm
三轴定位系统
重量
27KG
尺寸
546 x 401 x 535.5 mm
电源供应
230 VAC, <200 W
连接
USB, HDMI & 以太网
我们承诺质量与合规
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