大型基板UVLED曝光系统

ALE/2 — UV-LED曝光系统

产品优势与特色

●内置解决方案可实现最大曝光效率和性能

●高达70W的i-line曝光（CWL 365 nm）

●高达80W的宽带曝光（350-450 nm）

●闭环控制光输出

●LED工艺稳定性和TCO优势

●无需外部冷却

●无汞！节能环保的LED光源

ALE/2曝光光源提供350-450nm范围内的窄带和宽带紫外辐射输出。

虹科 ALE/2 的窄带输出功率高达 70W ，宽带输出功率高达 80W ，完全可替代高功率放电汞灯

ALE/2 曝光光源遵循分布式设计方法，通常由一个控制子系统 (CSS) 和一个单独的曝光子系统 (ESS) 组成，ESS可直接接入到曝光系统中。

控制子系统 (CSS)

▪ 可用作 4U 19 英寸机架安装系统

▪ 包括电源、冷却系统和外部接口

曝光子系统(ESS)

创新的光学设计可直接集成到曝光设备中

包括 i、h和 g线发射器，以及 LED 驱动器

宽带输出

365 / 405 /436 nm

Radiation [W]

汞弧灯

1,000 W	20	40
5,000 W	75	150

窄带输出

4 NUV-LEDs：365 nm

Radiation [W]

汞弧灯

1,000 W	20
5,000 W	75

中心发射波长: 367.5±2.5 nm, 387.5±2.5 nm, 402.5±2.5 nm, and 435.0±2.5 nm.

输出功率可能会有±10%误差.

发射波长选择	4 LEDs with CWL 365 nm, 385 nm, 405 nm, and 436 nm
数值孔径	标准聚光器下：NA 0.3 (2α ~35°)
输出控制	+ 单个LED电源管理和预设 + 高分辨率强度调整（10-100%） + LED上升时间小于1毫秒 + 连续监控光学输出和反馈控制
通信接口	+ 离散PLC接口（TTL） + USB（串行） + 以太网/Modbus（可选）
热管理	+ 带内部散热器的液体冷却 + 可选热电冷却器（性能模式运行所需）
尺寸 (W H D)	ESS 21 X 21 X 36 cm (8.3 X 8.3 X 14.2″) CSS (Rack) 44 X 18 X 37 cm (17.3 X 7.1 X 14.6″)
重量	ESS 4 kg (9 lbs) CSS (Rack) 10 kg (22 lbs)
电池供应	110 – 240 VAC / 50 – 60 Hz / 1,500 W