半导体制造工艺中的坚实后盾
用于光刻领域的高功率紫外光源解决方案,为改造传统的紫外线曝光生产工具或设计新的工具提供新便利
虹科高功率紫外曝光光源在半导体领域的其他拓展、应用
具有多波段输出、高稳定性、高输出功率以及高灵活性的虹科UV-LED点光源系统,能够替代固化行业中的传统汞灯与单色LED光源,实现更快速、更一致、更可靠的固化效果,满足汽车、电子、制药等多种行业的不同固化材料、照射面积与应用场景的具体需求。
紫外光刻和曝光是半导体行业生产微观电路结构的核心技术,UVLED为半导体制造领域提供提供一种理想解决方案。虹科高功率紫外UVLED光源与准直直泛光曝光光学器件相结合,将传统掩模对准器灯箱升级到多功能和灵活的UVLED技术。