虹科ALE/1是代替以往的放电灯的高输出、高稳定的LED光源装置,先进的UVLED光引擎最多可内置5种LED,可输出或定制多个波长(365nm,385nm,405nm,435nm),最高可达到30W输出。LED模块易于更换,可灵活应对应用程序更改,易于集成到新的和现有设置中,是适应未来需求且具备显著所有权成本优势的无汞光源。虹科ALE/1 UVLED光源可适用于半导体制造(曝光机、先进封装投影光刻机、晶圆边缘曝光、光掩模检查等)、质量保证和检查(NDT),在汽车、电子、光电子、制药和生命科学领域具有广泛的应用市场。