高功率大基板曝光光源

高效 | 先进 | 快捷 | 方便 | 一流


先进曝光系统HK ALE 1C

高达 80W 紫外输出


先进曝光系统HK ALE 2

高达 50W 紫外输出

全功率输出性能

HK 曝光光源系列产品在单光谱和多光谱配置中提供高功率性能

高功率的紫外输出能完美替代传统的、有害的超高功率汞灯,降低使用成本和维修频率,增加工作吞吐量。

多波段选择输出

单波段输出

多波段输出

HK 曝光光源系列产品精确地提供最适合您的UV固化应用的光谱成分,提供与汞放电灯相似的光谱输出,将原有光刻工艺升级到 UVLED 曝光时能够最大化地减少调整步骤。

可选高性能光学配件

液体光导

提供多种直径
提供单极/多极光导

均质聚光管

可用于正方形、矩形、六边形曝光
可增加出光均匀性

大面积聚光元件

附件透镜系统
为大型设备量身定制

易于设备集成

HK 曝光光源系列产品遵从分布式设计,即光源系统和控制系统相分离,以完美贴合原有的掩膜版设备,可以通过多种方式将原有传统灯箱结构进行升级,所有解决方案均可定制。

应用领域

紫外曝光

紫外固化

高功率UVLED应用

解决方案

用于低成本改造光刻设备的UV紫外光源

紫外光刻和曝光是半导体行业生产各种高端芯片、微观电路结构的核心技术,UVLED为半导体制造领域提供了一种理想解决方案。虹科高功率紫外光源ALE 1 UVLED光源与准直直泛光曝光光学器件相结合,不仅是将传统掩模对准器灯箱升级到UV-LED技术的多功能和灵活的选择,也是一种经济实惠的解决方案,助力学术界和工业界的小型研究实验室应用。

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半导体制造工艺中的虹科光源解决方案(2)

半导体工艺制造是发展电子产业的核心,而光刻光源的选择对于半导体制造有至关重要的作用。上期内容我们介绍了虹科曝光光源在掩膜对准系统和宽带步进系统中的应用。在本篇内容中,我们将继续为您展示虹科曝光光源在半导体领域的其他拓展应用。

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半导体制造工艺中的虹科光源解决方案(1)

半导体工艺制造是发展电子产业的核心,而光刻光源的选择对于半导体制造有至关重要的作用。虹科为您带来用于光刻领域的高功率紫外光源解决方案,为改造传统的紫外线曝光生产工具或设计新的工具提供新的便利。

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